真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的綜合技術，是指熱處理工藝的全部和部分是在真空狀態下進行的。真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，它與普通熱處理相比較具有以下優點。

1、不氧化、不脫碳、不增碳對工件內部和表面有良好的保護作用：

氧化使金屬表面失去金屬光澤，表面粗糙度增加，精度下降，并且鋼表面氧化皮往往是造成淬火軟點和淬火開裂的根源，氧化使鋼件強度降低，其他力學性能下降。而脫碳是指鋼在加熱時表面碳含量降低的現象。

2、提高整體機械性能、脫氣和促使金屬表面的凈化作用：

真空對液態金屬有明顯的除氣效果，對固態金屬中溶解的氣體也有很好的排除作用。金屬中最有害的氣體是氫。采用真空加熱時，可使金屬和合金中的氫迅速降至低程度，去除氫脆，從而提高材料的塑性、韌性和疲勞強度，提高了工件的整體機械性能。

金屬和合金在真空中加熱時，如果真空度低于相應氧化物的分解壓力，這種氧化物就會發生分解，形成的游離氧立即被排出真空室，使金屬表面質量，進一步提升，甚至使表面達到活化狀態，起到凈化作用